HOME 技術・ソリューション 産業別ソリューション 半導体産業 半導体産業 AI、IoT、自動車など様々な分野でテクノロジーが進歩し、世界中で半導体需要が増加しています。その半導体をつくる半導体製造装置に使用される部品の形状は多種多様であり、高い精度と面品位が要求されます。アルミの削り出しや、加工が難しい脆性材が用いられることも多く、高いレベルの加工が求められます。オークマは、こうしたニーズに対応する先進の加工機を取り揃え、各ワークに最適な加工技術、ソリューションをご提案しています。 エッチング装置 露光装置 ゲートバルブ シールド シャワープレート スクリュー 多角形チャンバ チャンバ プレート ブロック ベースリング リング 冷却板 レンズ ロータ