オークマ株式会社

OKUMA GLOBAL
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OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半導体産業

シャワープレート

シャワープレート

エッチング装置などの
小径多数穴プレート

材質：単結晶シリコン

半導体産業

脆性材の精密穴加工

POINT 01
脆性材の多数個小径穴も安定加工する
高精度主軸
  • 主軸回転速度 20,000min-1（標準仕様）
    30,000min-1（特別仕様）
  • 刃先の熱変位を最小にする回転軸冷却と
    主軸の熱変位を正確に制御する
    主軸熱変位制御により高精度加工を実現
形状精度誤差1μm（幅20mm）
（サンプルワーク）
形状精度誤差1μm（幅20mm）（サンプルワーク）
POINT 02
振動を抑える機械構造で精密加工を可能に
  • 低重心構造に加えて、クロスレール（コラム）と
    ベッドの取付部の剛性を向上することにより振動を抑制
    脆性材加工時の工具、ワークの欠損を防止
高剛性構造
高剛性構造

この加工を実現する製品はこちら

MP-46V
高精密部品・金型加工用立形マシニングセンタ
金型・高精度部品の生産性大幅アップ
ワンランク上の加工面品位を実現
この製品の特長を
もっと知りたい方はこちら
高生産性・高精度と環境対応を両立 Green-Smart Machine
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