OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半导体制造业

密封盘

密封盘

半导体制造设备的密封面用零部件

材质: A5052

半导体制造业

通过刀槽加工提高密封面质量

POINT 01
高质量密封面加工
  • 刀槽加工功能可有效去除粗加工时立铣刀造成的刀痕
    实现高质量的密封槽加工
  • 可加工直线、曲线等各种密封面

刀槽加工(工件样品)

POINT 02
高刚性机械结构,实现高效、
高质量的槽加工
  • 利用FEM分析实现高刚性结构
  • 从滑动面到加工面的外伸小,确保高刚性
主轴头伸出量小
主轴头伸出量小