OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半导体制造业

匀气盘

匀气盘

蚀刻设备等用小直径多孔板

材质: 单晶硅

半导体制造业

脆性材料精密孔加工

POINT 01
高精度主轴可稳定加工脆性材料的多个小直径孔
  • 主轴转速 20,000min-1(标准规格)
    30,000min-1(特殊规格)
  • 通过抑制刀尖热位移最小化的旋转轴冷却和精确控制主轴热位移的主轴热位移控制,实现高精度加工
形状精度误差1μm(宽度20mm)
(样品工件)
形状精度误差1μm(宽度20mm)(样品工件)
POINT 02
抑制振动的机械结构可实现精密加工
  • 采用低重心结构,提高横梁(立柱)和床身安装部的刚性抑制振动
    加工脆性材料时防止刀具和工件损坏
高剛性構造
高剛性構造