OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半導体産業

シャワープレート

シャワープレート

エッチング装置などの
小径多数穴プレート

材質:単結晶シリコン

半導体産業

脆性材の精密穴加工

POINT 01
脆性材の多数個小径穴も安定加工する
高精度主軸
  • 主軸回転速度 20,000min-1(標準仕様)
    30,000min-1(特別仕様)
  • 刃先の熱変位を最小にする回転軸冷却と
    主軸の熱変位を正確に制御する
    主軸熱変位制御により高精度加工を実現
形状精度誤差1μm(幅20mm)
(サンプルワーク)
形状精度誤差1μm(幅20mm)(サンプルワーク)
POINT 02
振動を抑える機械構造で精密加工を可能に
  • 低重心構造に加えて、クロスレール(コラム)と
    ベッドの取付部の剛性を向上することにより振動を抑制
    脆性材加工時の工具、ワークの欠損を防止
高剛性構造
高剛性構造