OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半導体産業

リング

リング

エッチング装置などの
消耗部品

材質:石英ガラス

半導体産業

石英ガラスの高効率な研削加工

POINT 01
5軸制御マシニングセンタを活用した
傾斜面加工で加工効率UP
  • C軸連続回転仕様により、高効率の研削加工を実現
  • テーブルを傾けワークの傾斜面を水平に維持することで
    傾斜面の多段加工が不要となり、加工効率向上

石英リング加工(類似ワーク)

POINT 02
高効率研削とメンテナンスを削減する
脆性材加工パッケージ
  • 脆性材加工に必要な仕様をパッケージ化
  • C軸連続回転仕様
  • 防塵仕様、切粉処理強化、フィルタリングシステム
    によりメンテナンスの手間を削減

切粉洗浄力を強化

POINT 03
極狭機械で面積生産性向上
  • 機械本体幅1,586mm*1で最大ワーク径ø600mmに対応
    クラス最高の面積生産性を実現

*1:脆性材加工パッケージ仕様時は上記幅に周辺機器が追加されます

コンパクトな設計
コンパクトな設計
幅広いストローク
幅広いストローク