OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半導体産業

多角形チャンバ

多角形チャンバ

半導体製造装置の
真空チャンバ部品

材質:A5052

半導体産業

段替え時間ゼロで旋削加工から
ミーリング加工までワンチャッキングで完結

POINT 01
旋削とミーリングの工程集約により
段取りの手間を削減
  • 旋削、ミーリング、斜め穴、多面加工もワンチャッキングで可能
  • 段取り回数削減で累積ワーク取付誤差を削減しリードタイムを短縮
  • 段取り部品の削減で設計・製作コストを低減

ワンチャッキングで様々な加工を実現

POINT 02
5軸加工精度を長時間維持
  • ファイブチューニングによる幾何誤差の自動補正
  • 調整が難しい5軸加工機の精度をだれでも簡単に補正でき、
    つなぎ部分の段差や穴位置の誤差を低減
タッチプローブと基準球を使ってチューニング
タッチプローブと基準球を使ってチューニング
POINT 03
スラッジレスタンクで
長期間安定稼働を実現
  • アルミのスラッジ回収率99%
  • 面倒なタンク清掃作業回数が激減
  • 廃棄切削液を削減し環境負荷を低減
スラッジレスタンク
スラッジレスタンク