OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS半導体産業

チャンバ

チャンバ

半導体製造装置の
真空チャンバ部品

材質:SUS304

半導体産業

ブロック材からの効率的な削り出し

POINT 01
高出力主軸による
荒加工の効率向上、高速仕上げ加工
  • 主軸能力 10,000min-1 No.50(特別仕様)
  • 重切削から高送り加工まで幅広く対応

強力主軸による高効率加工
(サンプルワーク)

POINT 02
機内の切粉排出性の強化で
作業者の介入のない長時間加工が可能
  • シンプルな機内カバー構造とクーラント洗浄の強化により
    稼働時の切粉トラブルを防止
フラットな機内カバーで
切粉堆積を防止
フラットな機内カバーで切粉堆積を防止
切粉を一掃する
大流量クーラント
切粉を一掃する大流量クーラント
POINT 03
スラッジレスタンクでタンク清掃の
負担軽減
  • 3種のろ過装置により高効率にスラッジを回収
  • スラッジ回収率99%
  • 3年間タンク清掃作業不要(自社設備機実績)
スラッジレスタンク
スラッジレスタンク