株式会社オークマ

半導体・液晶製造装置の
アルミ材の精密加工に
サーモフレンドリーコンセプトは絶対条件

株式会社 マルマエ 様

サーモフレンドリーコンセプトの
熱変位制御と
工場温度管理の相乗効果で
ミクロンレベルの精度要求に応える

立形マシニングセンタ「MB-V」、5軸制御立形マシニングセンタ「MU-V」、インテリジェント複合加工機「MULTUS B」などオークマの新鋭機で構成された24時間稼働の量産ライン(出水事業所)。
立形マシニングセンタ「MB-V」、5軸制御立形マシニングセンタ「MU-V」、インテリジェント複合加工機「MULTUS B」などオークマの新鋭機で構成された24時間稼働の量産ライン(出水事業所)。

オークマ機を初めて導入したのは立形マシニングセンタ「MX-55V」ですが、加工機を拡充する中で、「サーモフレンドリーコンセプト」の考え方を知り「これは、いいな」と共感しました。当時、火力発電用のタービンブレードを手掛けていましたが、空調を管理していても工作機械の伸縮によって朝と昼でワーク寸法に20~30μmのズレが生じ、何度も補正していました。それが「サーモフレンドリーコンセプト」適用の立形マシニングセンタ「MB-56V」を導入すると想定通りの寸法精度が確保でき、補正作業が大幅に軽減されました。
半導体や液晶製造装置の部品の多くはアルミ製で、鉄の2倍の熱膨張率があるため、1℃の温度差で1メートル当たり24μm伸縮します。このアルミ材からワークを削り出しますが、特に平面度の精度が厳しく、例えば大物部品加工を担う高尾野事業所では、チャンバーの平面度を10μm以下で加工しています。この精度を安定確保するには、さらにその2分の1の精度を狙います。

株式会社 マルマエ 様
本社・工場 鹿児島県出水市大野原町2141番地WEBサイトへ
設立 1988年
事業内容 半導体製造装置や液晶ディスプレイ製造装置などの真空パーツの製造を中心に、精密機械・精密機器の設計・製造・加工精密機械部品の設計および製作、産業・医療機械器具の設計・製造・販売、ソフトウエアの開発・販売
株式会社 マルマエ 様
代表取締役社長 前田 俊一様
代表取締役社長 前田 俊一様