大隈株式会社

Thermo-Friendly Concept是半导体/液晶制造设备的
铝材料进行精密加工的绝对条件。

株式会社 MARUMAE

通过Thermo-Friendly Concept的
热位移控制和工厂温度管理的
结合效果满足微米级的精度要求

由立式加工中心“MB-V”,5轴数控立式加工中心“MU-V”和智能化复合加工中心“MULTUS B”等Okuma的先进机床组成的24小时的生产线(出水事务所)。
由立式加工中心“MB-V”,5轴数控立式加工中心“MU-V”和智能化复合加工中心“MULTUS B”等Okuma的先进机床组成的24小时的生产线(出水事务所)。

最初引进的Okuma机是立式加工中心“MX-55V”,但是随着对加工中心床的扩展,我们了解了“Thermo-Friendly Concept”的概念,并产生了“这很好”的共感。当时,我正在研究用于火力发电的涡轮机叶片,但即使我管理空调温度,由于机床的膨胀和收缩,工件尺寸在早上和中午都产生了20-30µm的误差,并且我对其进行了多次校正。通过配备了“Thermo-Friendly Concept”的立式加工中心“MB-56V”的推出,确保了预期的尺寸精度,并且大大减少了补偿作业。
半导体或液晶制造设备的许多零件都是用铝制成的,其热膨胀系数是铁的两倍,因此当温度差为1℃时,每1米会膨胀和收缩24µm。工件是用这种铝材料加工的,但是平面度的精度要求特别严格,例如,在处理大型零件的高尾野工厂中,密封腔的平面度为10µm或更小。为了稳定确保该精度,我们需将目标定在原精度的一半。

株式会社 MARUMAE
总部/工厂 日本国鹿儿岛县出水市大野原町2141
公司成立 1988
业务内容 半导体制造设备和液晶显示器制造设备等,以真空零件的制造为主,设计和制造精密机械/机器,设计和制造加工精密机械零件,制造和销售工业和医疗设备,软件开发与销售
株式会社 MARUMAE
代表董事 前田 俊一
代表董事 前田 俊一